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激光掃描共聚焦顯微鏡

簡要描述:中圖儀器VT6000系列激光掃描共聚焦顯微鏡?在材料生產(chǎn)領(lǐng)域中,是一款用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量的光學(xué)檢測儀器。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中。

  • 更新時間:2024-05-12
  • 產(chǎn)品型號:VT6100
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 訪  問  量:1241

詳細介紹

品牌CHOTEST/中圖儀器儀器種類超高速激光共聚焦顯微成像系統(tǒng)
應(yīng)用領(lǐng)域綜合,材料領(lǐng)域產(chǎn)地類別國產(chǎn)
應(yīng)用領(lǐng)域綜合,材料領(lǐng)域

中圖儀器VT6000系列激光掃描共聚焦顯微鏡在材料生產(chǎn)領(lǐng)域中,是一款用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量的光學(xué)檢測儀器。


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基于共聚焦顯微測量技術(shù),VT6000激光掃描共聚焦顯微鏡廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中,精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析,并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù),從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量。


產(chǎn)品功能

1)設(shè)備具備表征微觀形貌的輪廓尺寸及粗糙度測量功能;

2)設(shè)備具備自動拼接功能,能夠快速實現(xiàn)大區(qū)域的拼接縫合測量;

3)設(shè)備具備一體化操作的測量與分析軟件,預(yù)先設(shè)置好配置參數(shù)再進行測量,軟件自動統(tǒng)計測量數(shù)據(jù)并提供數(shù)據(jù)報表導(dǎo)出功能,即可快速實現(xiàn)批量測量功能;

4)設(shè)備具備調(diào)整位置、糾正、濾波、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能;

5)設(shè)備具備粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能;

6)設(shè)備具備一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,可實現(xiàn)批量數(shù)據(jù)文件的快速分析功能;


應(yīng)用領(lǐng)域

對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、平面度、粗糙度、波紋度、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。


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VT6000激光共聚焦顯微鏡可測各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等,提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內(nèi)外標準共計300余種2D、3D參數(shù)作為評價標準。

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