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中圖儀器NS系列亞埃級(jí)垂直分辨力臺(tái)階儀是一種接觸式表面形貌測(cè)量儀器，可以對(duì)微米和納米結(jié)構(gòu)進(jìn)行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測(cè)量。其采用LVDC電容傳感器，具有的亞埃級(jí)分辨率和超微測(cè)力等特點(diǎn)使得其在ITO導(dǎo)電薄膜厚度的測(cè)量上具有很強(qiáng)的優(yōu)勢(shì)。

中圖儀器VT6000系列激光共聚焦3D顯微鏡是一款用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行微納米級(jí)測(cè)量的檢測(cè)儀器。它基于光學(xué)共軛共焦原理，結(jié)合精密縱向掃描，以在樣品表面進(jìn)行快速點(diǎn)掃描并逐層獲取不同高度處清晰焦點(diǎn)并重建出3D真彩圖像，從而進(jìn)行分析的精密光學(xué)儀器，一般用于略粗糙度的工件表面的微觀形貌檢測(cè)，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、溝槽等參數(shù)。

臺(tái)階儀高精度薄膜厚度與臺(tái)階高度測(cè)量軟件包含多個(gè)模塊。500萬像素高分辨率彩色攝像機(jī)，即時(shí)進(jìn)行高精度定位測(cè)量?？梢詫⑻结樀男蚊矆D像傳輸?shù)娇刂齐娔X上，使得測(cè)量更加直觀。

除主要用于測(cè)量表面形貌或測(cè)量表面輪廓外，SuperViewW1國產(chǎn)自研白光形貌干涉儀具有的測(cè)量晶圓翹曲度功能，非常適合晶圓，太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測(cè)量，應(yīng)變測(cè)量以及表面形貌測(cè)量。

SuperViewW1白光干涉粗糙度儀基于白光干涉原理，以3D非接觸方式，測(cè)量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸，設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺(tái)階高、角度等輪廓尺寸測(cè)量功能.

自設(shè)計(jì)之初，VT6000共聚焦高精度三維顯微鏡便定下了“簡單好用”四字方針的目標(biāo)。儀器采用自研的電動(dòng)鼻輪塔臺(tái)，并對(duì)軟件防撞設(shè)置與硬件傳感器防撞設(shè)置功能進(jìn)行了優(yōu)化，確保共聚焦顯微鏡在使用高倍物鏡僅不到1mm的工作距離時(shí)也能應(yīng)對(duì)。

中圖儀器國產(chǎn)臺(tái)階儀廠商N(yùn)S系列臺(tái)階儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測(cè)量儀，主要用于臺(tái)階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測(cè)量。能夠測(cè)量納米到330μm甚至1000μm的臺(tái)階高度，可以準(zhǔn)確測(cè)量蝕刻、濺射、SIMS、沉積、旋涂、CMP等工藝期間沉積或去除的材料。

在材料生產(chǎn)檢測(cè)領(lǐng)域中，VT6000光伏檢測(cè)儀器3D顯微鏡輪廓儀用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行微納米級(jí)測(cè)量。它基于光學(xué)共軛共焦原理，結(jié)合精密縱向掃描，以在樣品表面進(jìn)行快速點(diǎn)掃描并逐層獲取不同高度處清晰焦點(diǎn)并重建出3D真彩圖像，從而進(jìn)行分析的精密光學(xué)儀器，一般用于略粗糙度的工件表面的微觀形貌檢測(cè)，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、溝槽等參數(shù)。