光學(xué)輪廓儀是以白光干涉技術(shù)原理，對(duì)各種精密器件表面進(jìn)行納米級(jí)測(cè)量的儀器，通過測(cè)量干涉條紋的變化來測(cè)量表面三維形貌，專用于精密零部件之重點(diǎn)部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測(cè)量。

　　光學(xué)輪廓儀是對(duì)物體的輪廓、二維尺寸、二維位移進(jìn)行測(cè)試與檢驗(yàn)的儀器，作為精密測(cè)量儀器在汽車制造和鐵路行業(yè)的應(yīng)用十分廣泛。是通過儀器的觸針與被測(cè)表面的滑移進(jìn)行測(cè)量的，是接觸測(cè)量。其主要優(yōu)點(diǎn)是可以直接測(cè)量某些難以測(cè)量到的零件表面，如孔、槽等的表面粗糙度，又能直接按某種評(píng)定標(biāo)準(zhǔn)讀數(shù)或是描繪出表面輪廓曲線的形狀，且測(cè)量速度快、結(jié)果可靠、操作方便。但是被測(cè)表面容易被觸針劃傷，為此應(yīng)在保證可靠接觸的前提下盡量減少測(cè)量壓力。

　　光學(xué)輪廓儀的原理：

　　輪廓儀是通過儀器的觸針與被測(cè)表面的滑移進(jìn)行測(cè)量的，是接觸測(cè)量。其主要優(yōu)點(diǎn)是可以直接測(cè)量某些難以測(cè)量到的零件表面，如孔、槽等的表面粗糙度，又能直接按某種評(píng)定標(biāo)準(zhǔn)讀數(shù)或是描繪出表面輪廓曲線的形狀，且測(cè)量速度快、結(jié)果可靠、操作方便。但是被測(cè)表面容易被觸針劃傷，為此應(yīng)在保證可靠接觸的前提下盡量減少測(cè)量壓力。

　　精度保證由液壓或者氣浮導(dǎo)軌等高精密裝置完成

　　輪廓儀按傳感器的工作原理分為電感式、感應(yīng)式以及壓電式多種。儀器由傳感器、驅(qū)動(dòng)箱、電器箱等三個(gè)基本部件組成。